累积晶圆生产良品率

在晶圆完成所有的生产工艺后,第一个主要良品率被计算出来了。对此良品率有多种不同的叫法,如Fab良率(Fab Yield)、生产线良率、累积晶圆厂良率或CUM良率。 晶圆厂CUM良率用一个百分比来表示,可通过两种不同的计算方法得到。一种是用完成生产的晶圆总数除以总投入片数。这种简单的计算方法在实际上很少被使用。因为大部分的晶圆生产线同时生产多种不同类型的电路。不同类型的电路有不同的特征工艺尺寸和密度参数。一条晶圆生产线经常是生产一系列不同的产品,每一种产品都有其各自不同数量的工艺步骤和难度水平。在这种情况下,将会针对每一类产品计算一个合成良率。 一条晶圆生产线上会存在有大量