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晶圆刻号

上传者: 2021-01-16 18:29:20上传 PDF文件 18.4KB 热度 14次
大面积的晶圆代在晶圆制造工艺中有高价值,区别它们是防止误操作所必需的,并且可以保持精确的可追溯性。使用条形码和数字矩阵码(图3.19)的激光刻号被采用了。3对300毫米的晶圆,激光点是一致认同的方法。
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