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晶圆清洗

上传者: 2020-12-28 12:10:50上传 DOCX文件 17.81KB 热度 26次
摘要:介绍了半导体IC制程中存在的各种污染物类型及其对IC制程的影响和各种污染物的去除方法,并对湿法和干法清洗的特点及去除效果进行了分析比较。
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