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晶圆包装

上传者: 2021-01-17 00:01:39上传 PDF文件 20.72KB 热度 13次
虽然花费了许多努力生产高质量和洁净的晶圆,但从包装方法本身来说,在运输到客户的过程中,这些品质会丧失或变差。所以,对洁净的和保护性的包装有非常严格的要求。包装材料是无静电、不产生颗粒的材料,并且设备和操作工要接地,放掉吸引小颗粒的静电。晶圆包装要在洁净室里进行。
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