晶圆评估 上传者：zsliqiang 2021-01-16 20:22:42上传 PDF文件 18.69KB 热度 52次 在包装以前,需要根据用户指定的一些参数对晶圆(或样品)进行检查。图3.24列举了一个典型的规格要求。 主要的考虑是表面问题如颗粒,污染和雾。这些问题能够用强光或自动检查设备来检测出。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
