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晶圆工艺 生产流程

上传者: 2020-10-31 09:01:33上传 PDF文件 66.68KB 热度 24次
从大的方面来讲,晶圆生产包括晶棒制造和晶片制造两大步骤,它又可细分为以下几道主要工序(其中晶棒制造只包括下面的第一道工序,其余的全部属晶片制造,所以有时又统称它们为晶柱切片后处理工序)给读者介绍,供读者参考。
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