晶圆生产的基础工艺

集成电路芯片有成千上百的种类和功用。然而,它们都是由为数不多的基本结构(主要为双极结构和金属氧化物半导体结构,见第十六章)和生产工艺制造出来的。类似于汽车工业,这个工业生产的产品范围很广,从轿车到推土机。然而,金属成型、焊接、油漆等工艺是对有的汽车厂都是通用的。在汽车厂内部,这些基本的工艺以不同的方式被应用,来制造出客户希望的产品。 同样,芯片制造也是一样。制造企业使用四种最基本的工艺方法通过大量的工艺顺序和工艺变化制造出特定的芯片。这些基本的工艺方法是增层、光刻、掺杂、热处理(图4.3)。