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晶圆生产良率的制约因素

上传者: 2020-12-13 07:14:14上传 PDF文件 18.37KB 热度 25次
晶圆生产良率受到多方面的制约.下面列出了5个制约良率的基本因素,任何晶圆生产厂都会对他们进行严格的控制.这5个基本因素的共同作用决定了一个工厂的综合良率. 1.工艺制程步骤的数量 2.晶圆破碎和弯曲 3.工艺制程变异 4.工艺制程缺陷 5.光刻掩模板缺陷
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