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论文研究利用籽晶层提高氧化镓薄膜的结晶和光学质量 .pdf

上传者: 2019-09-05 01:50:03上传 PDF文件 380.88KB 热度 22次
利用籽晶层提高氧化镓薄膜的结晶和光学质量,孙婷,夏晓川,采用射频磁控溅射技术在蓝宝石衬底上制备了氧化镓籽晶层,并对籽晶层进行高温退火处理,而后利用MOCVD技术分别在无籽晶层衬底上和�
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