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LMBE法制备氧化镓薄膜

上传者: 2020-07-16 13:39:03上传 PDF文件 369.68KB 热度 22次
L-MBE法制备氧化镓薄膜,孔德敏,刘爱华,本实验用L-MBE(激光分子束外延)法在蓝宝石衬底上制备氧化镓薄膜,并研究了氧分压和激光能量对氧化镓薄膜结晶质量的影响。并利用X
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