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论文研究Zn源流量对MOCVD方法生长氧化镓薄膜特性的影响 .pdf

上传者: 2020-02-29 12:01:45上传 PDF文件 979.69KB 热度 33次
Zn源流量对MOCVD方法生长氧化镓薄膜特性的影响,徐梦想,夏晓川,本文利用金属有机物化学气相沉积方法,以三乙基镓为镓源,二乙基锌作为掺杂锌源,高纯氧气作为氧源,高纯氩气作为载气,在锌源流��
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