论文研究氧化镓干法刻蚀研究 .pdf 上传者：qq349925728 2020-05-02 09:36:46上传 PDF文件 629.4KB 热度 26次 氧化镓干法刻蚀研究，张超，夏晓川，本文采用用感应耦合等离子体刻蚀设备，利用六氟化硫和氩气对外延生长在蓝宝石衬底上的氧化镓薄膜进行了刻蚀。通过改变两种气体输 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 收藏 腾讯 微博 用户评论 发表评论 qq349925728 资源：19471 粉丝：3 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
