氧分压对ZnO薄膜结晶质量和光学特性的影响

Name: 氧分压对ZnO薄膜结晶质量和光学特性的影响
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Author: _ONEtoONE_

上传者：_ONEtoONE_ 2020-01-03 20:15:30上传 PDF文件 773.97KB 热度 65次

氧分压对ZnO薄膜结晶质量和光学特性的影响，董武军，张庆瑜，利用脉冲激光沉积技术，在同一沉积温度（750℃）、不同沉积气压的条件下，在Si(100)基片上制备了未掺杂的高c轴取向的ZnO薄膜。通过扫�

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