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论文研究提高闪存浮栅绝缘氧化层质量的制程改善方法研究 .pdf

上传者: 2019-09-05 01:49:56上传 PDF文件 536.6KB 热度 29次
提高闪存浮栅绝缘氧化层质量的制程改善方法研究,张琳,,自对准分栅闪存具有较高的编程效率(ProgramEfficiency)及较低的擦除电压(EraseVoltage),是目前闪存领域的研究重点。浮栅(FloatingGate)绝缘
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