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镓掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备

上传者: 2020-05-05 20:04:38上传 PDF文件 232.76KB 热度 37次
镓掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备,迟景阳,李雪,本文采用MOCVD方法制备出了Ga掺杂的氧化锌透明导电薄膜,系统研究了氧气流量对样品的结构、电学性质及透过率的影响,发现在合适的�
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