论文研究 晶圆的高温氧化物层均匀性提高方法的研究 .pdf 上传者：u735696828 2020-07-23 02:52:06上传 .PDF文件 240KB 热度 10次 晶圆的高温氧化物层均匀性提高方法的研究，王燕军，黄其煜，本文讲述了几种提高晶圆的高温氧化物层均匀性的方法。通过用49%高浓度的氢氟酸对晶舟清洗30分钟可以提高其均匀性从3.69%到2.24%，通过 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 立即下载 用户评论 发表评论 u735696828 资源：19496 粉丝：0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
