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论文研究8寸晶圆单片晶圆良率降低现象产生的原因及改善方法 .pdf

上传者: 2020-03-12 03:07:21上传 PDF文件 568.58KB 热度 23次
8寸晶圆单片晶圆良率降低现象产生的原因及改善方法,姜俊克,黄其煜,本文旨在研究8寸芯片制造工厂里单片晶圆良率降低现象产生的原因并提出改善方法。在目前比较成熟的8寸的芯片制造工厂中,随着制程�
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