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论文研究TMBS 器件刻蚀工艺优化的研究 .pdf

上传者: 2019-09-14 01:40:08上传 其他文档文件 646KB 热度 38次
TMBS器件刻蚀工艺优化的研究,徐晨余,,本文主要阐述了TMBS(沟槽MOS势垒肖特基二极管)的器件形貌改善经过及结果,并详细介绍了该类型器件围绕刻蚀工艺变更而对各项工艺��
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