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论文研究超结器件制造工艺及其结构的优化 .pdf

上传者: 2020-01-10 12:13:10上传 PDF文件 755.65KB 热度 24次
超结器件制造工艺及其结构的优化,陆怡,,本文主要阐述了SuperJunction(超级结)功率半导体器件工艺及结构改善的方法及结果。通过制造工艺的优化,克服深槽型超结工艺在生产�
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