论文研究超结器件制造工艺及其结构的优化 .pdf 上传者：CSDN阿坤 2020-01-10 12:13:10上传 PDF文件 755.65KB 热度 51次 超结器件制造工艺及其结构的优化，陆怡，，本文主要阐述了SuperJunction（超级结）功率半导体器件工艺及结构改善的方法及结果。通过制造工艺的优化，克服深槽型超结工艺在生产� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
