论文研究 沟槽功率器件的源层光刻工艺研究 .pdf
沟槽功率器件的源层光刻工艺研究，周闻天，缪进征，本文主要阐述了沟槽功率器件的源注入光刻层工艺优化的过程及结果，并详细介绍了源注入光刻层工艺变更对各项工艺的影响。基于器件
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