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论文研究Trench SBR器件的CMP相关工艺研究 .pdf

上传者: 2020-05-07 02:59:32上传 PDF文件 940.95KB 热度 23次
TrenchSBR器件的CMP相关工艺研究,顾文炳,陈东坡,本文主要阐述了TrenchSBR(沟槽超级势垒整流器)的器件形貌改善经过及结果,并详细介绍了该类型器件围绕CMP工艺变更而对各项工艺的��
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