论文研究Trench SBR器件的CMP相关工艺研究 .pdf 上传者：houguof 2020-05-07 02:59:32上传 PDF文件 940.95KB 热度 40次 TrenchSBR器件的CMP相关工艺研究，顾文炳，陈东坡，本文主要阐述了TrenchSBR（沟槽超级势垒整流器）的器件形貌改善经过及结果，并详细介绍了该类型器件围绕CMP工艺变更而对各项工艺的�� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
