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UV压印光刻刻蚀工艺研究

上传者: 2020-06-12 14:39:34上传 PDF文件 397.47KB 热度 28次
UV压印光刻刻蚀工艺研究,史永胜,丁玉成,针对UV压印光刻和传统光学光刻不同的技术特点,提出压印光刻刻蚀工艺路线。本文对反应离子刻蚀和感应耦合等离子体刻蚀技术对阻蚀�
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