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微流控器件的刻蚀工艺试验

上传者: 2020-05-11 06:11:09上传 PDF文件 444.46KB 热度 30次
微流控器件的刻蚀工艺试验,傅新,谢海波,以氢氟酸作为主要刻蚀剂,选用不同成分的添加剂(氟化铵、硝酸、盐酸、浓硫酸等)按不同比例调配成刻蚀液,进行对比性实验,研究
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