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论文研究半导体制造栅氧工艺的QTime研究及改善方案 .pdf

上传者: 2019-10-02 22:12:34上传 PDF文件 1.73MB 热度 51次
半导体制造栅氧工艺的Q-Time研究及改善方案,倪立华,程秀兰,随着集成电路器件性能的不断提高和技术的飞速发展,对半导体制造工艺条件的要求也越来越严格。业界大多采用等待时间(Q-Time)控制
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