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论文研究氮离子注入对栅氧化层击穿的影响 .pdf

上传者: 2020-03-02 08:24:24上传 PDF文件 399.91KB 热度 40次
氮离子注入对栅氧化层击穿的影响,范呈丰,荣国光,本文介绍了氮植入对超薄栅氧化物[1],[2]的时间相关介质击穿(TDDB)的底层机制研究。据发现,氮植入可以提高TDDB对NMOS的可靠性,同时��
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