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退火处理对埋有碳纳米点的a SiCx:H薄膜的微观结构和光学性能的影响

上传者: 2021-04-25 13:29:30上传 PDF文件 1.12MB 热度 14次
退火处理对埋有碳纳米点的a-SiCx:H薄膜的微观结构和光学性能的影响
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