沉积气压对非晶碳薄膜结构和性能的影响 上传者：ekg70207d 2020-08-06 18:57:13上传 PDF文件 298.41KB 热度 44次 沉积气压对非晶碳薄膜结构和性能的影响,王成兵,,采用直流-脉冲等离子体化学气相沉积技术,以甲烷和氢气为前驱气源,制备了氢化非晶碳薄膜(a-C:H)。考察了沉积气压(6, 8, 11, 15, 20 Pa) 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
