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快速热处理对PZT薄膜的微观形貌以及电学性能的影响

上传者: 2020-07-18 20:10:20上传 PDF文件 335.24KB 热度 18次
快速热处理对PZT薄膜的微观形貌以及电学性能的影响,杨帆,杨成韬,利用射频磁控溅射法制备出PZT薄膜,在不同温度下进行快速热处理,之后通过P-E曲线、XRD、AFM分析系统研究了快速热处理工艺对PZT薄膜微
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