1. 首页
  2. 移动开发
  3. 其他
  4. 氧气气氛下退火处理对ITO薄膜性能的影响

氧气气氛下退火处理对ITO薄膜性能的影响

上传者: 2020-07-19 04:16:25上传 PDF文件 753.89KB 热度 22次
采用AFM,XPS,Hall等手段分析了氧气气氛下退火处理对ITO薄膜性质的影响,并用处理的ITO制作了有机电致发光器件.结果表明,退火处理后ITO薄膜的表面粗糙度增加,光学透过率降低.ITO薄膜经0.5 h退火后电阻率增大了近2倍,对有机半导体材料的空穴注入能力显著提高,相应的有机发光器件性能得到明显改善.ITO薄膜光电性能的变化归因于ITO表面化学组分的改变.
用户评论