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NH3流量对PECVD技术制备的a Si CN:H薄膜的微观结构和氧化性能的影响

上传者: 2021-03-11 09:15:56上传 PDF文件 895.76KB 热度 9次
NH3流量对PECVD技术制备的a-Si-CN:H薄膜的微观结构和氧化性能的影响
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