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论文研究SiC衬底倾角对MOCVD生长GaN外延层质量的影响 .pdf

上传者: 2019-09-10 06:13:12上传 PDF文件 375.48KB 热度 42次
SiC衬底倾角对MOCVD生长GaN外延层质量的影响,宋琳,梁红伟,利用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)方法,在相同的条件下在不同倾角的Si面6H-SiC衬底上生长GaN外延层。采用原子力显微镜(AFM)观察GaN表��
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