论文研究ECRMOCVD法外延生长GaN薄膜及其研究 .pdf 上传者：Xieminsen 2019-09-04 05:32:49上传 PDF文件 914.69KB 热度 28次 ECR-MOCVD法外延生长GaN薄膜及其研究，薛永奇，陈俊芳，采用电子回旋共振等离子体增强化学汽相沉积（ECR-MOCVD）在（0001）面蓝宝石衬底上低温（450oC)外延生长了GaN薄膜。通过等离子体的发射� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 收藏 腾讯 微博 用户评论 发表评论 Xieminsen 资源：19548 粉丝：0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
