1. 首页
  2. 编程语言
  3. 其他
  4. 论文研究SiC衬底上SiCGe外延薄膜的结构分析 .pdf

论文研究SiC衬底上SiCGe外延薄膜的结构分析 .pdf

上传者: 2019-09-09 10:35:57上传 PDF文件 736.29KB 热度 34次
SiC衬底上SiCGe外延薄膜的结构分析,陈治明,李连碧,用SEM和TEM对热壁化学气相沉积法(HWCVD)在SiC衬底上外延生长的SiCGe薄膜进行了结构分析,发现薄膜生长具有明显的随温度改变的岛状生长特
下载地址
用户评论