论文研究SiC衬底上SiCGe外延薄膜的结构分析 .pdf 上传者：宛陵秋 2019-09-09 10:35:57上传 PDF文件 736.29KB 热度 56次 SiC衬底上SiCGe外延薄膜的结构分析，陈治明，李连碧，用SEM和TEM对热壁化学气相沉积法(HWCVD)在SiC衬底上外延生长的SiCGe薄膜进行了结构分析，发现薄膜生长具有明显的随温度改变的岛状生长特 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
