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论文研究钴硅化物薄膜的快速淀积外延生长的原子模型模拟 .pdf

上传者: 2019-12-31 23:25:19上传 PDF文件 396.61KB 热度 24次
钴硅化物薄膜的快速淀积外延生长的原子模型模拟,石浩,于民,钴硅化物作为大规模集成电路的接触等应用而收到关注。本文给出了一种新的模拟CoSi2薄膜的快速淀积外延(RDE)试验的方法。模型采用�
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