ECRMOPECVD技术制备GaN薄膜研究 上传者：u11574 2020-03-02 08:19:27上传 PDF文件 314.19KB 热度 63次 ECR-MOPECVD技术制备GaN薄膜研究，李赟，陈俊芳，利用氮等离子体阀射光谱和朗谬尔双探针诊断了ECR-MOPECVD装置反应室中轴向与径向的等离子体参数，得到相同气压，不同功率，不同位置� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
