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直流反应磁控溅射制备掺铟ZnO透明导电薄膜的研究

上传者: 2021-02-21 00:58:07上传 PDF文件 5.05MB 热度 13次
本文介绍了掺铟ZnO透明导电膜的制备工艺.并应用半导体物理理论分析了薄膜的导电机理,用Drude理论建立了物理模型,分析与计算了薄膜从可见到红外光波段的光学性能,结果表明,理论计算与实测值两者符合得较好.
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