直流反应磁控溅射氮化钛薄膜电极的工艺研究
直流反应磁控溅射氮化钛薄膜电极的工艺研究，王男，周大雨，采用直流磁控溅射技术在Si（100）基片上制备了不同溅射电流以及不同氩氮比下的氮化钛（TiN）纳米薄膜电极。通过表面台阶测试仪﹑四�
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