磁控溅射制备TaN薄膜研究

Name: 磁控溅射制备TaN薄膜研究
Rating: 4.5 (65 reviews)
Author: 安筱磊

上传者：安筱磊 2020-07-19 01:36:07上传 PDF文件 186.61KB 热度 65次

磁控溅射制备TaN薄膜研究，康杰，，使用磁控反应溅射制备TaN薄膜，研究不同氮分压，工作气压，溅射功率以及基片温度等条件对薄膜的结构和性能影响，得到了薄膜的方阻

下载地址

用户评论

更多下载

下载地址

立即下载

用户评论

磁控溅射制备TaN薄膜研究

磁控溅射制备TaN薄膜研究，康杰，，使用磁控反应溅射制备TaN薄膜，研究不同氮分压，工作气压，溅射功...

大小：187KB | 2020-07-19 01:36:07
直流磁控溅射制备超导TiN薄膜

直流磁控溅射制备超导TiN薄膜，陈志平，曹春海，在室温下，采用直流磁控溅射在高阻硅上生长了TiN薄膜...

大小：0B | 2020-04-20 09:07:40
磁控溅射法制备氧化钒薄膜的研究

磁控溅射法制备氧化钒薄膜的研究

大小：320KB | 2021-02-23 20:35:23
论文研究射频反应磁控溅射制备VOx薄膜.pdf

射频反应磁控溅射制备VOx薄膜，李建峰，吴志明，本文采用射频反应溅射法制备了VOx薄膜,重点研究了氧...

大小：0B | 2019-09-20 07:05:25
用磁控溅射技术制备氮化铝薄膜

报道了用磁控溅射制备氮化铝薄膜的工艺过程和实验结果.给出了氮化铝薄膜的光学常数与氩气、氮气压强之间的...

大小：921KB | 2021-03-02 01:13:36
氧气氛下磁控溅射制备富硼薄膜的研究

在本文中,通过在不同氧分压下以射频和硼为靶的射频(rf)磁控溅射在(1 0 0)硅衬底上生长氧化硼(...

大小：656KB | 2021-04-04 12:01:16
反应磁控溅射制备SiO

梳状滤光片是一种特殊的非均匀光学薄膜器件, 其膜层折射率渐变分布结构使它与常规均匀光学薄膜相比具有更...

大小：1.32MB | 2021-04-03 06:16:05
直流反应磁控溅射制备掺铟ZnO透明导电薄膜的研究

本文介绍了掺铟ZnO透明导电膜的制备工艺.并应用半导体物理理论分析了薄膜的导电机理,用Drude理论...

大小：5.05MB | 2021-02-21 00:58:07
磁控溅射制备Mn Co Ni O热敏红外探测薄膜

磁控溅射制备Mn-Co-Ni-O热敏红外探测薄膜

大小：787KB | 2021-04-04 12:00:54
React磁控溅射沉积SiCN薄膜的制备及光学性能

React磁控溅射沉积SiCN薄膜的制备及光学性能

大小：1.75MB | 2021-04-27 06:29:21
磁控溅射制备TiOsup2sup薄膜及其光学特性研究.pdf

采用直流反应磁控溅射法在玻璃衬底上制备TiO2薄膜.用紫外-可见光分光光度计和AFM分别表征了薄膜...

大小：0B | 2019-09-18 22:01:54
磁控溅射制备氢掺杂氧化锌薄膜的掺杂性能研究

磁控溅射制备氢掺杂氧化锌薄膜的掺杂性能研究

大小：574KB | 2021-04-04 07:28:38
室温下射频磁控溅射制备ZnO Al透明导电薄膜及其性能研究

采用射频磁控溅射技术,在室温下,以ZnO:Al2O3(2%Al2O3(质量比))为靶材,在石英玻璃基...

大小：538KB | 2021-04-26 05:40:24
论文研究反应磁控溅射制备钇掺杂氧化铪薄膜及性能的研究.pdf

反应磁控溅射制备钇掺杂氧化铪薄膜及性能的研究，戈占伟，张昱，本文研究了在低阻硅衬底上，采用纯铪与纯钇...

大小：637KB | 2020-07-16 06:34:10
射频磁控溅射制备氮化锌薄膜的结构和光学性质

射频磁控溅射制备氮化锌薄膜的结构和光学性质

大小：178KB | 2021-04-17 13:50:49
磁控溅射YSZ薄膜的激光损伤阈值

利用射频磁控溅射方法在不同衬底上制备出掺Y2O3 8 %的YSZ薄膜, 用X射线衍射、原子力显微镜(...

大小：2.41MB | 2021-04-23 09:13:47