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直流磁控溅射制备超导TiN薄膜

上传者: 2020-04-20 09:07:40上传 PDF文件 627.15KB 热度 28次
直流磁控溅射制备超导TiN薄膜,陈志平,曹春海,在室温下,采用直流磁控溅射在高阻硅上生长了TiN薄膜,分别设定溅射功率、溅射气压以及N2和Ar的气体流量比为单一变量,获得了不同�
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