晶圆制备阶段

**矿石到高纯气体的转变 **气体到多晶的转变 **多晶到单晶,掺杂晶棒的转变 **晶棒到晶圆的制备 半导体制造的第一个阶段是从泥土里选取和提纯半导体材料的原料。提纯从化学反应开始。对于硅,化学反应是从矿石到硅化物气体,例如四氯化硅或三氯硅烷。杂质,例如其他金属,留在矿石残渣里。硅化物再和氢反应(图3.1)生成半导体级的硅。这样的硅的纯度达99.9999999%,是地球上最纯的物质之一。1它有一种称为多晶或多晶硅(polysilicon)的晶体结构。