1. 首页
  2. 移动开发
  3. 其他
  4. 论文研究 硅微通道结构释放中湿法腐蚀特性研究 .pdf

论文研究 硅微通道结构释放中湿法腐蚀特性研究 .pdf

上传者: 2020-07-21 00:46:40上传 PDF文件 517.27KB 热度 20次
硅微通道结构释放中湿法腐蚀特性研究,崔丹丹,端木庆铎,电化学刻蚀技术是制作硅微通道结构最常见的技术,此技术制备出的硅微通道结构是不通透的,需要通过结构释放中湿法腐蚀的方法把硅
用户评论