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论文研究硅微通道阵列厚层氧化技术研究 .pdf

上传者: 2020-05-23 16:23:40上传 PDF文件 332.19KB 热度 20次
硅微通道阵列厚层氧化技术研究,张翼,王国政,基于硅微通道阵列厚层氧化机理,对n型(100)晶向硅微通道阵列进行了不同时间的湿氧氧化,用扫描电子显微镜对氧化前后通道阵列进��
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