论文研究硅微通道阵列厚层氧化技术研究 .pdf
硅微通道阵列厚层氧化技术研究，张翼，王国政，基于硅微通道阵列厚层氧化机理，对n型（100）晶向硅微通道阵列进行了不同时间的湿氧氧化，用扫描电子显微镜对氧化前后通道阵列进��
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