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论文研究智能剥离工艺硅表面腐蚀失效机理探究 .pdf

上传者: 2020-03-26 22:51:47上传 PDF文件 271.19KB 热度 14次
智能剥离工艺硅表面腐蚀失效机理探究,董磊,,智能剥离工艺是SOI制成过程中较为常用的工艺之一。一些硅相关缺陷对于即将来临的低纳米IC产品来说显得更加敏感。在低于13nm制成的IC�
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