论文研究 硅微通道阵列高温氧化过程中热应力分布模拟 .pdf
硅微通道阵列高温氧化过程中热应力分布模拟,孙振庭,王宇,硅微通道阵列经高温氧化过程会产生不规则形变,是高温环境下产生的热应力所致。本文通过用ABAQUS有限元模拟软件对硅微通道阵列在高
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