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论文研究 液封直拉磷化铟单晶的湿法腐蚀研究 .pdf

上传者: 2020-07-17 11:06:56上传 PDF文件 508.66KB 热度 10次
液封直拉磷化铟单晶的湿法腐蚀研究,杨瑞霞,陈爱华,采用原位磷注入合成法在富磷熔体中生长磷化铟(InP)单晶体材料,用两种腐蚀试剂对掺S和掺Fe的单晶片进行研究,用自主配制的CH (CrO3/HBr)
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