论文研究 液封直拉磷化铟单晶的湿法腐蚀研究 .pdf
液封直拉磷化铟单晶的湿法腐蚀研究，杨瑞霞，陈爱华，采用原位磷注入合成法在富磷熔体中生长磷化铟(InP)单晶体材料，用两种腐蚀试剂对掺S和掺Fe的单晶片进行研究，用自主配制的CH (CrO3/HBr)
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