磁控溅射掺铝氧化锌薄膜的Ar气工艺条件研究 上传者：sunstart 2020-05-27 14:05:58上传 PDF文件 380.63KB 热度 51次 磁控溅射掺铝氧化锌薄膜的Ar气工艺条件研究，宋瑞良，刘玮，磁控溅射掺铝氧化锌（AZO）透明导电膜是大面积太阳能薄膜电池工业化生产的重要工艺手段。实验发现，在不同的Ar气进气方式的溅射过� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
