杂质银对氧化锌薄膜气敏光学特性的影响

用反应式射频磁控溅射方法制备了纯氧化锌(ZnO)薄膜和掺Ag的ZnO气敏光学传感薄膜。测量了这些薄膜在NOx气体中的透射光谱,然后由透射光谱获得了灵敏度的变化规律,发现掺Ag后的ZnO薄膜对NOx气体的灵敏度高于纯ZnO薄膜,用俄歇电子能谱(AES)测试了这些薄膜的组分,发现当掺Ag量为5%时灵敏度最高。并结合朗缪尔(Langmuir)型吸附平衡关系式解释了这些现象,理论和实验结果能很好地相符。