磁控溅射制备TiOsup2sup薄膜及其光学特性研究.pdf 上传者：宛陵秋 2019-09-18 22:01:54上传 PDF文件 415KB 热度 57次 采用直流反应磁控溅射法在玻璃衬底上制备TiO2薄膜.用紫外-可见光分光光度计和AFM分别表征了薄膜的透射率和表面形貌，用包络线法详细研究了不同衬底温度下TiO2薄膜的光学特性.结果表明：薄膜在可见光波段有很高的透明度，且随着衬底温度的升高，薄膜的透射率略有增加，薄膜的折射率和吸收系数增大，薄膜的光学带隙减小；同时，薄膜表面粗糙度减小，薄膜变得平整. 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
