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论文研究离子注入层光学临近效应修正方法的研究 .pdf

上传者: 2020-03-03 13:26:21上传 PDF文件 582.31KB 热度 31次
离子注入层光学临近效应修正方法的研究,张辰明,,随着集成电路制造技术的发展,栅极尺寸不断缩小。随之而来的离子注入层尺寸也逐渐减小,光学临近效应愈发明显,需要在掩模板上提
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