论文研究离子注入层光学临近效应修正方法的研究 .pdf 上传者：CSDN阿坤 2020-03-03 13:26:21上传 PDF文件 582.31KB 热度 54次 离子注入层光学临近效应修正方法的研究，张辰明，，随着集成电路制造技术的发展，栅极尺寸不断缩小。随之而来的离子注入层尺寸也逐渐减小，光学临近效应愈发明显，需要在掩模板上提 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
