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通过沉积额外的热失配介电层向AlGaN / GaN异质结构中的AlGaN势垒施加压缩预应力的方法

上传者: 2021-05-11 06:33:13上传 PDF文件 495.1KB 热度 9次
通过沉积额外的热失配介电层向AlGaN / GaN异质结构中的AlGaN势垒施加压缩预应力的方法
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